产品规格
| 序号 | 项目 | 技术参数 | |
| 1 | 外形尺寸（长*宽*高）mm | 7009mm（L）*3120mm（W）*2200mm（H） | |
| 2 | 设备重量（Kg） | 2 套 LDI 4.5T/套，自动线 1.5t | |
| 3 | 电源 | 380VAC 50Hz | |
| 4 | 最大功耗 KW | 47KW | |
| 5 | 有效加工范围 mm | 最小：300mm*300mm 最大：630mm*730mm | |
| 6 | 加工厚度 mm | 0.05mm（不含铜厚）-3.5mm（含铜厚） | |
| 7 | 设备产能 | 7-7.5 片/分钟（622*546mm；干膜曝光剂量≤50mj/cm2；四点对位） | |
| 8 | 外层对位精度 | ±12μm | |
| 9 | 关键尺寸均匀性 | ±10% | |
| 10 | 解析能力 | 55/55um（极限解析 35um/35um）允许误差：±10% | |