产品规格
| 序号 | 项目 | 技术参数 | |
| 1 | 外形尺寸（长×宽×高） | 26996mm(L)x2362mm(W)x3000mm(H) | |
| 2 | 设备重量（Kg） | ≥16200Kg（不含药水） | |
| 3 | 电控柜 尺寸 （mm） | 2700*600*2500mm | |
| 4 | 电源 | 3PH-AC380V+N+PE, 50/60Hz | |
| 5 | 断路器/总开关 | 400A | |
| 6 | 最大耗电功率 KW | 205KW | |
| 7 | 加热功率 KW | 109KW（含外围缸体加热器功率） | |
| 8 | 气压 bar | 6.0-7.0bar | |
| 9 | 自来水 | 20-32L/min | |
| 10 | DI 水（去离子水） | NA | |
| 11 | 冷冻循环水 | 145-150L/min | |
| 12 | 加热循环水 | NA：电加热 | |
| 13 | 排风量 CMM | 18.0m³/min “非干板段” 9.0m³/min “干板段” | |
| 14 | 有效加工范围 mm | 最小：350*400mm 最大：550*650mm | |
| 15 | 加工厚度 mm | 最小：0.05mm（不含铜厚） 最大：2.5mm | |
| 16 | 生产速度 m/min | 1.0~10m/Min，可调「 工作速度预设：2.5m/min」 | |
| 17 | 蚀刻均匀性 | 上板面≥94％ 下板面≥95％ | |
| 18 | 显影（1）（2）段、刀片蚀刻（1）（2）段喷淋泵带自动恒压功能 | / | |
| 19 | 蚀刻段采用真空蚀刻，减少上板面的水池效应，蚀刻均匀性好 | / | |
| 20 | 酸性蚀刻段配备自动添加控制器，可监控氧化剂、酸度及比重的精准添加过程 | / | |
| 21 | 显影摆动喷架采用不锈钢材质，蚀刻摆动喷架采用非钛材质，蚀刻传动支撑桥板采用钛材质，无需担心变形 | / | |
| 22 | 输送段、显影段、刀片蚀刻段及退膜段的输送速度值显示器设置于无尘室的彩钢板上，各段输送速度采用按钮方式调节 | / | |
| 23 | 具备卡板报警、无板停机功能，节水节电 | / | |
| 24 | 每台设备配备清洗软管，便于维护保养 | / | |
| 25 | 所有水洗段或药水段过滤器的顶盖上安装微动开关，开盖即停泵保护 | / | |
| 26 | 所有药水段顶盖带门保护功能，开盖即停泵保护 | / | |
| 27 | 过滤桶采用一体注塑成型，杜绝焊接不良导致的渗漏问题。可清洗过滤桶可切换不同滤芯，无需更换过滤桶，可安装滤网、滤棉袋、滤棉滤芯 | / | |