产品规格
| 序号 | 项目 | 技术参数 | |
| 1 | 外形尺寸（长×宽×高）mm | 1860mm*1470mm*2000mm | |
| 2 | 设备重量（Kg） | 2550Kg | |
| 3 | 电源 | 3PH-AC380V+N+PE, 50/60Hz | |
| 4 | 断路器／主开关 A | 40A | |
| 5 | 设备总功率 | 30KW | |
| 6 | 射频电源功率、频率 | 10KW @ 40KHZ | |
| 7 | 电极分布 | 垂直分布，各电极独立冷却 | |
| 8 | 电极数量 | 16 pcs | |
| 9 | 流量控制器 | Warwick | |
| 10 | 标准配置 3 路气体 | 1 路 2000 sccms，2 路 5000 sccms | |
| 11 | 软件控制系统 | 中英文界面 | |
| 12 | 真空泵系统品牌 | Edwards | |
| 13 | 射频电源 | AE | |
| 14 | 抽速能力 | 1160 m3/h抽气能力 1160 m3/H | |
| 15 | 真空工作压力 | 进气氧气流量 2.0-2.5L/min 时的工作压力；可控范围 180-300mTorr | |
| 16 | 生产板最大尺寸 | 27 X44 inch（22 * 27 inch，30 片／炉） | |
| 17 | 标准生产板厚度 | 0.03-9 mm（0.5 以下薄板需定制软板夹具） | |
| 18 | 生产板最小尺寸 | 4 X 4inch | |