产品规格
| 序号 | 项目 | 技术参数 | |
| 1 | 外形尺寸（长*宽*高）mm | 3000mm（L）*1912mm（W）*1798mm（H） | |
| 2 | 设备重量（Kg） | LDI 4.5T | |
| 3 | 电源 | 380VAC 50Hz | |
| 4 | 最大功耗 KW | 15KW | |
| 5 | 有效加工范围 mm | 最小：250mm*300mm 最大：630mm*810mm | |
| 6 | 加工厚度 mm | 0.05mm（不含铜厚）-5mm（含铜厚） | |
| 7 | 设备产能 | 3 片/分钟（622*546mm；干膜曝光剂量≤50mj/cm2；四点对位，上下板≤5S） | |
| 8 | 外层对位精度 | ±12μm | |
| 9 | 内层对位精度 | 24um | |
| 10 | 尺寸均匀性 | ±10% | |
| 11 | 解析能力 | 55/55um（极限解析度 35um/35um）公差：±10% | |